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半導體等級高精度平台

◎ X-Y Table 平面度 ±2um

  • X軸
  • 行程 425mm
  • 最高速度 20mm/sec
  • 定位精度 1um

  • Y軸
  • 行程 550mm
  • 最高速度 1000mm/sec
  • 定位精度 1um

X/Y/Z 軸 高精密設計

◎ 完美實現3D玻璃切割工藝


BOSCH Rexroth1805 以上等級滑軌

靈活上下料機構設計

◎ 可泛用各式產品


使用最新技術做切割(Debris Free)
  • 與傳統刀輪方式相比較& 優勢
  • > 沒有耗材
  • > 非濕製程
  • > 產量大/速度快
  • > 品質穩定
  • > 操作人員少