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測試系統保證

壓力測試 :24 小時以上(6~8kg/cm2)
氦氣測漏 :1X10-9atm*cc/sec
微粒計數 :0.1μm<1 P/SCF
含水量分析:5~10 ppb (依業主需求)
含氧量分析:5~10 ppb