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電漿廢棄處理系統
               

PFCs 廢氣處理設備  Plasma Scrubber

               
  • Main Feature
  •                    
    • Thermal Arc Plasma Technology
    • Over 95% Removal Efficiency of Global
        Warming Gases Such as PFCs, HFCs, SF6
    • Big Capacity for Etch Process (600LPM)
    • Prevention Powder & Mist Trouble
    • Simple Safety Management
    • Self over current detective circuit

General Specification
ItemSpecification
ModelKAE-PW600
Treatment typeTransferred / Non-Transferred
Capacity600 LPM
Operation typeAutomatic
(PLC base TOUCH screen)
Dimension
(W×D×H, ㎜)
790 × 890 ×1,890
Maintenance area
(W×D×H, ㎜)
800(F) ×800(R)×500(H)
(No need Side Maintenance)
Plug PowerAC, 3Φ, 208V, 20kW
Plasma Power15kW
             

             
                         
毒害廢氣最佳解決方案

氟氯碳化物(CFCs)及全氟化物(PFCs)等溫室效應氣體的濃度不斷增加,將會造成地球 暖化,全球氣候變遷之嚴重後果。此外,氨氮排於於水中,造成河川溪流含氧量降低,影響生態甚鉅,這也就是我們要提供高效率廢氣處理系統的主因!

系統原理與架構

利用電漿火炬的高溫電漿將CF4,C2F6與NF3等PFCs有害溫室效應氣體分子的化學鍵加以破壞,提供水氣使分解後再結合成HF與CO2,其處理效率一般皆可以達到>99%以上,遠高於傳統單純的Wet Scrubber或是燃燒方式。

系統特色
  •  
  • 1.低營運成本
  • 2.不需使用瓦斯
  • 3.針對PFCs及氨氮處理效率最高
  • 4.無廢水排於問題
  • 5.電弧放電機構壽命可達3個月以上
  • 6.電弧放電機構維護成本低廉

系統通用規格
 
 

1. Condition

               

2. Result

               

Spectrum Curve