技術來源：原廠技師/日本與美國技術配合/原廠背景
(擁有原廠歷練技師/國外技術合作廠商 /美國parts & spare pump供應)
硬體設施：與原廠同等級維修設備
(潔淨設備/拆解與組裝治具/測試設備/皆與原廠同等級)
| 機組型號 | 單位 | 70 Series | |
|---|---|---|---|
| 抽氣速率 | L/S (50Hz/60Hz) | 70/84 | |
| m3/h (50Hz/60Hz) | 252/300 | ||
| 極限真空 | Pa (50Hz/60Hz) | ≤1 | |
| Torr (50Hz/60Hz) | ≤7.5X10-3 | ||
| 風冷電機 | 頻率 | Hz | 50/60 |
| 電壓 | V | 380 | |
| 功率 | kW | 7.5 | |
| 螺杆真空泵 | rpm | 2900 | |
| 氮氣 | 壓力 | MPa | 0.05-0.1 |
| 流量 | l/min | 6-20 | |
| 冷卻水 | 壓力 | MPa | 0.2-0.4 |
| 壓力差 | MPa | 0.1 | |
| 溫度 | ℃ | 10-30 | |
| 流量 | l/min | 3-5 | |
| 進氣口徑 | mm | DN80 | |
| 排氣口徑 | mm | DN50 | |
| 重量 | Kq | 500 | |
| 噪音 | dB（A） | 75 | |
| 外形尺寸（長×寬×高 | mm | 1250×460×780 | |
| 機組型號 | 單位 | 110 Series | |
|---|---|---|---|
| 抽氣速率 | L/S (50Hz/60Hz) | 108/130 | |
| m3/h (50Hz/60Hz) | 388/468 | ||
| 極限真空 | Pa (50Hz/60Hz) | ≤1 | |
| Torr (50Hz/60Hz) | ≤7.5X10-3 | ||
| 風冷電機 | 頻率 | Hz | 50/60 |
| 電壓 | V | 380 | |
| 功率 | kW | 7.5 | |
| 螺杆真空泵 | rpm | 2900 | |
| 氮氣 | 壓力 | MPa | 0.05-0.1 |
| 流量 | l/min | 6-20 | |
| 冷卻水 | 壓力 | MPa | 0.2-0.4 |
| 壓力差 | MPa | 0.1 | |
| 溫度 | ℃ | 10-30 | |
| 流量 | l/min | 3-5 | |
| 進氣口徑 | mm | DN80 | |
| 排氣口徑 | mm | DN50 | |
| 重量 | Kq | 500 | |
| 噪音 | dB（A） | 75 | |
| 外形尺寸（長×寬×高 | mm | 1250×460×780 | |
